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专利名称：一种磁控溅射靶材结构专利类型：实用新型专利发明人：余松霖,林俊杰,覃秦申请号：CN201420003674.2申请日：20140105公开号：CN203715718U公开日：20140716
摘要：本实用新型提供了一种磁控溅射靶材结构，其特征在于：包括背板（3）、靶材（1）、靶材（2），所述的靶材（1）是横截面为上凸形结构的方条形板材，所述的靶材（2）是横截面为下凸形结构的方条形板材；所述的靶材（1）和靶材（2）通过焊接方式紧密拼接在背板（3）上,所述的靶材（1）上凸形边缘和靶材（2）下凸形边缘是相互配合的。本实用新型的有益效果为：新型的靶材拼接结构能有效提高靶材利用率，降低生产成本。
申请人：东莞汇海光电科技实业有限公司
地址：523400 广东省东莞市寮步镇药勒村坤明路3号
国籍：CN
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