专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：电子束检测器、扫描型电子显微镜、质量分析装置
及离子检测器
专利类型：发明专利
发明人：近藤稔,永井俊光,木船淳申请号：CN02804285.9申请日：20020130公开号：CN14704A公开日：20040414
摘要：在电子束检测器中，通过光波导将化合物半导体基片的荧光出射表面与光检测器的光入射面光学耦合，并将化合物半导体基片与光检测器物理连接，从而将化合物半导体基片与光检测器连为一体。将入射到化合物半导体基片的电子变换为荧光时，光波导将该荧光导向光检测器，通过光检测器检测荧光来检测入射的电子束。
申请人：滨松光子学株式会社
地址：日本静冈县
国籍：JP
代理机构：中国专利代理()有限公司
更多信息请下载全文后查看
