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专利名称：衬底处理设备和方法专利类型：发明专利发明人：D·K·戴罗伊斯特申请号：CN2019107138.1申请日：20190819公开号：CN110858554A公开日：20200303
摘要：本申请公开了一种衬底处理设备和方法，所述衬底处理设备包括湿法处理站，所述湿法处理站具有用于在衬底上涂布抗蚀剂的抗蚀剂涂布装置和/或用于在所述衬底上显影所述抗蚀剂的显影处理装置。所述设备可具有额外处理站和衬底处置器，所述衬底处置器用于将所述衬底移动到所述湿法处理站和/或所述额外处理站且在进入和/或离开所述衬底处理设备的方向上移动所述衬底。所述额外处理站包括渗透装置。所述方法包括用所述衬底处理设备处理衬底。
申请人：ASM IP控股有限公司
地址：荷兰阿尔梅勒
国籍：NL
代理机构：上海专利商标事务所有限公司
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