专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：衬底处理设备和方法专利类型：发明专利发明人：T·奥斯特拉肯申请号：CN2019101278.5申请日：20190920公开号：CN110993526A公开日：20200410
摘要：一种衬底处理设备，其配备有用以在其上支撑衬底载体的衬底载体支撑件。所述载体支撑件包含用以支撑所述衬底载体的顶部支撑表面；隔热材料的隔热主体；以及用以加热所述载体支撑件的主加热器。所述隔热主体至少设置在所述支撑表面与所述主加热器之间。
申请人：ASM IP控股有限公司
地址：荷兰阿尔梅勒
国籍：NL
代理机构：上海专利商标事务所有限公司
代理人：丁晓峰
更多信息请下载全文后查看
