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专利名称：光学部件及激光加工机专利类型：发明专利发明人：中井秀和,福永圭佑申请号：CN201680036058.9申请日：20160509公开号：CN107710025A公开日：20180216
摘要：一种光学部件，其在Ge基板的至少单面形成有多层膜，在该光学部件中，所述多层膜的最表层为类金刚石层(DLC层)，在所述Ge基板和所述DLC层之间，形成有从由ZnS层及金属氧化物层构成的组中选择的至少1个层。优选与所述Ge基板相接的层从由ZnS层、BiO层、CeO层、CrO层、TaO层、HfO层及ZrO层构成的组中选择。优选与所述DLC层相接的层从由ZnS层、SiO层、MgO层、YO层、BiO层、CeO层、CrO层、TaO层、TiO层、HfO层及ZrO层构成的组中选择。
申请人：三菱电机株式会社
地址：日本东京
国籍：JP
代理机构：北京天昊联合知识产权代理有限公司
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