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专利名称：光学部件及激光加工机专利类型：发明专利发明人：福永圭佑,增田晓雄申请号：CN201980008632.3申请日：20190117公开号：CN111630415A公开日：20200904
摘要：光学部件具有：包括主面及在主面的背面侧形成的第二面的基板、和在主面及第二面中的至少主面形成的多层膜，基板至少含有Ge而形成，多层膜包含从接近基板的一侧起依次将氧化物膜、氟化物无定形膜、Ge膜和DLC膜的至少4层层叠而成的膜。由此，能够提供使耐热性提高、不因热的影响而使光学特性恶化、发挥稳定的光学性能的光学部件。
申请人：三菱电机株式会社
地址：日本东京
国籍：JP
代理机构：中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人：贾成功
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