专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：一种低成本金色低辐射率薄膜的制备方法专利类型：发明专利发明人：陈路玉
申请号：CN201310567780.3申请日：20131114公开号：CN1031332A公开日：20140319
摘要：本发明公开了一种低成本金色低辐射率薄膜的制备方法，包括：A、直流电源溅射不锈钢平面靶，在玻璃基板上磁控溅射SSTO层；B、直流电源溅射铬平面靶，在SSTO层上磁控溅射CrN层；C、直流电源溅射银平面靶，在CrN层上磁控溅射Ag层；D、直流电源溅射铜平面靶，在Ag层上磁控溅射Si层；E、交流电源溅射掺铝氧化锌陶瓷旋转靶，在Si层上磁控溅射AZO层；F、直流电源溅射铜平面靶，在AZO层上磁控溅射Cu层；G、交流电源溅射掺铝氧化锌陶瓷旋转靶，在Cu层上磁控溅射AZO层；H、交流电源溅射硅铝合金旋转靶，在AZO层上磁控溅射SiO层。本发明的目的是提供一种工艺简单，操作方便，生产成本相对较低的金色双银LOW-E膜的制备。
申请人：中山市创科科研技术服务有限公司
地址：528400 广东省中山市火炬开发区创业大厦229号
国籍：CN
代理机构：中山市铭洋专利商标事务所(普通合伙)
代理人：吴剑锋
更多信息请下载全文后查看
