双轴MEMS谐振式加速度传感器结构

（12）发明专利说明

（21）申请号 CN201611205923.6 （22）申请日 2016.12.23 （71）申请人 中北大学

地址 030051 山西省太原市尖草坪区学院路3号

（10）申请公布号 CN106597011B

（43）申请公布日 2018.11.23

书

（72）发明人 石云波;刘俊;曹慧亮;任建军;唐军;马宗敏;黄堃;康强;冯恒振;寇志伟;连树仁;孙亚楠;韩兴宇

（74）专利代理机构 太原科卫专利事务所(普通合伙)

代理人 朱源

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

双轴MEMS谐振式加速度传感器结构

（57）摘要

本发明涉及MEMS谐振式加速度传感器，

具体是一种双轴MEMS谐振式加速度传感器结构。本发明解决了现有MEMS谐振式加速度传感器敏感方向单一的问题。双轴MEMS谐振式加速度传感器结构，包括中心质量块、第一至第四环岛质量块、第一至第四大锚块、第一至第十六Ω形支撑梁、第一至第四连接梁、第一至第八梳状微谐振器、第一至第八小锚块；其中，第一环岛质量块

位于中心质量块的前方；第二环岛质量块位于中心质量块的后方；第三环岛质量块位于中心质量块的左方；第四环岛质量块位于中心质量块的右方。本发明适用于武器制导、航空航天、生物医学、消费品电子等领域。

法律状态

法律状态公告日

2017-04-26 2017-04-26 2017-05-24 2017-05-24 2018-11-23

法律状态信息

公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效 授权

法律状态

公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效 授权

权利要求说明书

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说明书

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