COG机台保养操作指导书

COG机台保养操作指导书

机台名称 COG制程生产机台。 目的 维持机台正常运作。 调校保养项目 日保养,月保养。 标准(spec) 适用范围 COG制程生产机台 使用工具 感压纸,1.1mm厚之单片玻璃,温度测量器,内六角板手,热偶器(K Type),牙刷。 使用材料 酒精,无尘布,润滑油。 调校保养频率 不同项目分别订定。 调校保养工时 不同项目分别订定。 一.调校前之作业及检查(项目:日保养) 程序（Steps） 品质与安全注意事项(Quality and Safety Issues) 回收无尘布之定义: 1.工具: A镜子 ; B美工刀 ; C镊子 2.材料: A酒精 ; B无尘布 ; C纸胶布 ; D回收1. 该片无尘布已擦拭玻璃数量约2K~3K pcs,须更新无尘布者。 无尘布 3.日保养项目:依照“COG机台日保养记录表”内2. 该片无尘布已不堪再作擦拭玻璃之用者。 3.为节省资源,将无尘布回收,用于机台外表或容 环境清洁之用。(沾有油污或玻璃屑者不回收) 4.执行人员:技术员 二.调校保养操作程序(项目:日保养) 程序（Steps） 调校频率:每班生产前 调校工时:20分钟 1.清洁LCD SUPPLY CONVEYOR表面： a.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,于触碰屏幕点选“LCD SUPPLY” “SOLENOID VALAE” “CONVEYOR”使之反白,则CONVEYOR开始转动。 b.用无尘布沾酒精擦拭CONVEYOR橡胶部份。 c.擦拭完毕再按一次“CONVEYOR”使CONVEYOR停止转动。 2.清洁ACF SUPPLY LCD TABLE表面： a.用纸胶布黏取LCD TABLE表面之玻璃碎片。 b.用无尘布沾酒精擦拭LCD TABLE表面。 3.清洁ACF SUPPLY LCD TABLE之BACK UP表面： 品质与安全注意事项(Quality and Safety Issues) 操作面板附图列于附件中。 用品：酒精、无尘布。 注意：人员手部安全。 用品：酒精、无尘布、纸胶布。 注意：大块碎玻璃须先集中以回收无尘布 包裹,再丢入垃圾桶中。 用品：酒精、无尘布、纸胶布。 注意：大块碎玻璃须先集中以回收无尘布 a.用纸胶布黏取LCD TABLE表面之玻璃碎片。 包裹,再丢入垃圾桶中。 b.用无尘布沾酒精擦拭BACK UP表面。 4.清洁ACF SUPPLY 热压头表面： 用品：镜子、无尘布、镊子。 a.用镊子卷取无尘布擦拭热压头表面之缓冲材。 注意:勿掀起热压头表面的缓冲材。 b.擦拭完毕,用镜子检查压头表面是否确实完成确认ACF是否靠齐基准边。

清洁。 5.清洁ACF SUPPLY 切刀表面： 用品：酒精、无尘布、镊子。 a.用镊子卷起一小段无尘布并沾附酒精。 b.擦拭切刀表面及ACF半切垫底之表面。 注意：人员手部安全。 6.检视及清洁ACF SUPPLY GUIDE： 用品：酒精、无尘布、镜子、美工刀。 a.用镜子检查GUIDE之ACF导槽及旁边,是否有 ACF残留在上面。 b.用美工刀清除GUIDE之ACF导槽及旁边残留的若有ACF残留在上面时，才执行。 ACF。 c.用无尘布沾酒精擦拭清除过之部份。 1.清除ACF残留物后才执行。 2.确认ACF是否靠齐基准边。 7.清洁LSI SUPPLY LCD TABLE表面： 用品：酒精、无尘布。 a.用纸胶布黏取LCD TABLE表面之玻璃碎片。 注意：大块碎玻璃须先集中以回收无尘布 包裹,再丢入垃圾桶中。 b.用无尘布沾酒精擦拭LCD TABLE表面。 8.清洁LSI SUPPLY BACK UP表面： 用品：酒精、无尘布。 a.用纸胶布黏取LCD TABLE表面之玻璃碎片。 注意：大块碎玻璃须先集中以回收无尘布 包裹,再丢入垃圾桶中。 b.用无尘布沾酒精擦拭BACK UP表面。 9.清洁LSI SUPPLY LSI TABLE表面： 用品：酒精、无尘布。 a.用无尘布沾酒精擦拭LSI TABLE表面。 10.清洁LSI SUPPLY IC吸取头表面： 用品：无尘布、镜子。 a.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式，按 “ORIGIN”(‘17’方形)，进行原点复归。 b.用无尘布擦拭IC吸取头表面。 注意：勿掀起IC吸头表面的缓冲材。 c.用镜子检查清洁过之IC吸取头表面有无异物。 若发现异状,请通知工程师处理。 11.清洁LSI SUPPLY IC拋料盒： 用品：酒精、无尘布、镊子。 a.用镊子将IC拋料盒内之IC取出。 取出之IC须放置于适用之IC TRAY。 b.用无尘布沾酒精擦拭拋料盒内部。 12.清洁LSI SUPPLY IC TRAY收集盒： a.将装满IC TRAY的收集盒倾倒至垃圾桶,集中丢弃前,须先确认有无IC置于其中。 处理。 13.清洁ACTUAL BOND SUPPLY LCD TABLE表面： 用品：酒精、无尘布。 a.用纸胶布黏取LCD TABLE表面之玻璃碎片。 注意：大块碎玻璃须先集中以回收无尘布 包裹,再丢入垃圾桶中。 b.用无尘布沾酒精擦拭LCD TABLE表面。 14.清洁ACTUAL BOND BACK UP表面： 用品：酒精、无尘布、镊子。 a.用镊子卷起一小段无尘布。 b.再用无尘布沾酒精擦拭BACK UP表面。 注意：高温烫手,注意人员手部安全。 15.检视ACTUAL BOND SUPPLY 本压头表面： 用品：镜子、酒精、无尘布、镊子。 a.用镜子检视本压头表面是否清洁。 注意：不可徒手去碰触本压头。 b.若发现有不洁物,先以镊子刮除不洁物 1.注意：刮除时，不可伤及本压头表面。 c.用镊子卷起一小段无尘布。 2.由b ~ d之步骤请设备工程师执行。 d.再用无尘布沾酒精擦拭本压头表面。

16.玻璃传送之吸嘴表面清洁： 用无尘布擦拭TRANSPORT之吸嘴部分 17.清洁玻璃送出之输送带表面： a.在“MANU”状态下,于触碰屏幕点选“LCD EJECTION” “SOLENOID VALAE”“CONVEYOR”使之反白,则CONVEYOR开始转动。 b.用无尘布沾酒精擦拭CONVEYOR橡胶部份。 c.擦拭完毕再按一次“CONVEYOR”使CONVEYOR停止转动。 18.检查各部指示灯源是否正常： a.检查机台各部指示灯源功能是否正常。 用品：无尘布。 用品：酒精、无尘布。 注意：人员手部安全。 注意：若发现异常,立即更换。 三.调校前之作业及检查(项目:月保养) 程序（Steps） 品质与安全注意事项(Quality and Safety Issues) 1.工具: A镜子 ; B吸尘器 ; C牙刷 ； D感压清洁保养机台之滑轨,导螺杆等传动机构 纸 ； 时,不得使用酒精,丙酮等有机挥发物,只 E温度计录器 ; F热偶器(K Type) 可用无尘布擦拭。 2.材料: A grease油() ; B液状油()。 3.月保养项目:依照“COG机台月保养记录表”内 容。 4.执行人员:设备工程师 四.调校保养操作程序(项目:月保养) 程序（Steps） 品质与安全注意事项(Quality and Safety Issues) 调校频率:1次/月 调校工时: 4小时 操作面板附图,列于附件中。 1.润滑LCD SUPPLY之柱状滑杆： 用品：无尘布、Grease油、牙刷。 a.逆时针松开前方调整CONVEYER宽度之固定 栓。 a.旋转左方黑色的转轮将CONVEYER的宽度调整注意：调整CONVEYER宽度时,以不碰撞 到最小。 中间的传感器(SENSOR)为原则。 c.利用牙刷及无尘布,清洁柱状滑杆上的污油。 注意：无尘布不可以重复使用。 d.利用牙刷及无尘布,重新在柱状滑杆上油。 注意：由内而外均匀涂抹上油。 e.反向旋转左方黑色的转轮,将CONVEYER的宽度调整 到最大。 f.重复c及d的步骤,完成滑杆内侧之清洁及上注意：由内而外均匀涂抹上油。 油。 g.重复b及e的步骤,并观察柱状滑杆是否均匀注意：若发现异状,请通知机台之负责 上油、 工程师处理。 动作有无异状。 h.利用无尘布清除柱状滑杆外侧多余的油。

i.利用左方黑色的转轮将CONVEYER调整到适当的宽度 依预定之生产型号调整。 后,再旋紧前方调整CONVEYER宽度之固定栓。 2.润滑LCD SUPPLY之导螺杆： 用品：Grease油、无尘布、牙刷。 a.步骤同“LCD SUPPLY之柱状滑杆”。 清洁保养时,可同步执行。 3.润滑LCD SUPPLY之滑轨： 用品：Grease油、无尘布、牙刷。 清洁保养时,可同步执行。 a.步骤同“LCD SUPPLY之柱状滑杆”。 4.清洁ACF SUPPLY之风扇过滤网： 用品：吸尘器。 a.利用吸尘器清洁风扇过滤网。 注意：清洁后,须将过滤网装设定位。 5.润滑ACF SUPPLY之铅锤滑杆： 用品：Grease油、无尘布、牙刷。 a.在“MANU”状态下,于触碰屏幕点选“ACF SUPPLY” “SOLENOID VALAE” “ACF WINDING UP MOTOR OFF”, 使之反白,则WINDING MOTOR停止转动。 b.卸下ACF。 c.利用无尘布擦拭铅锤导杆上面的污油,完成后再利用 牙刷沾少许Grease油,在铅锤导杆的表面均匀涂抹。 d.完成架设ACF后,再按一次“ACF WINDING MOTOR OFF”， 使WINDING MOTOR继续动作。 6.测试ACF SUPPLY之GUIDE＃1、＃2动作： a.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式，于触碰屏幕点选 注意：若发现异常,请通知机台之负责工程 “ACF SUPPLY”“SOLENOID VALAE” 师处理。 “ACF GUIDE 1 UP & DOWN”及“ACF GUIDE 2 UP & DOWN”, 检查此机 构的动作及升降速度是否正常。 用品：液状油、无尘布。 7.润滑ACF SUPPLY之切刀上下滑轨： a.利用无尘布,清洁滑轨表面的污油。 b.将液状油均匀涂抹在滑轨的表面。. c.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式，于触碰屏幕点选“ACF SUPPLY”“SOLENOID VALAE” “ACF CUTTER UP & DOWN” 使之反白,则齿轮带动CUTTER往上移动至定位。 d.重复a及b的步骤，完成滑轨另外一侧之清洁 及上油。 e.机台进入”MANU”(‘9’方形)模式,重复于注意：若发现异常,请通知机台之负责 触碰屏幕点 工程师处理。 选“ACF SUPPLY”“SOLENOID VALAE” “ACF CUTTER UP & DOWN”,检查此机构之

动作及升降速度有无异常。 8.润滑ACF SUPPLY之控制切刀上下齿轮： 用品：Grease油、无尘布、镊子、牙刷。 a.利用镊子及无尘布清洁齿轮部分的污油。 b.利用牙刷沾少许的Grease油,于齿轮与齿轮接合处 注意：非上油部分须清洁干净。 均匀涂抹。 c.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,于触碰屏幕点选“ACF SUPPLY”“SOLENOID VALAE” “ACF CUTTER UP & DOWN” 使之反白,则齿轮带动CUTTER往上移动至定位。 d.重复a及c的步骤,完成齿轮清洁及上油。 e.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,重复于注意：若发现异常,请通知机台之负责 触碰屏幕点 工程师处理。 选“ACF SUPPLY”“SOLENOID VALAE”  “ACF CUTTER UP & DOWN”,检查此机构之动作及升降速度有无异常。 9.检查ACF SUPPLY之切刀是否平整： 用品:镜子。 a.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,于触碰屏幕点选“ACF SUPPLY”“SOLENOID VALAE” “ACF CUTTER BACK & FORTH”“ACF CUTTER UP & DOWN” “ACF CUTTER UP & DOWN” “ACF CUTTER BACK & FORTH”,进行试切ACF。 注意：若发现切痕不完整,请通知机台之 b.利用镜子检查ACF的切痕是否完整。 负责工程师处理。 用品：Grease油、无尘布、牙刷。 10.润滑ACF SUPPLY之切刀前后滑轨 ： a.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,于触碰屏幕点选“ACF SUPPLY”“SOLENOID VALAE” “ACF CUTTER BACK & FORTH”使之反白,则CUTTER往前推送至定位。 b.利用无尘布,清洁切刀滑轨表面的污油。 c.利用牙刷沾少许的Grease油，均匀涂抹在切 刀滑轨表面。 d.再按一次“ACF CUTTER BACK & FORTH”使CUTTER回 复到定位,并重复b及c的步骤,完成另外一侧 的清 洁及上油。

e.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,重复于触碰屏幕点 注意：若发现切痕不完整,请通知机台之负 选“ACF SUPPLY”“SOLENOID VALAE” 责工程师处理。 “ACF CUTTER BACK & FORTH”,检查切刀滑轨的表面是否均 匀上油、 动作及进退速度有无异常。 11.清洁ACF SUPPLY之导轮 ： 用品：酒精、无尘布、美工刀。 a.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,于触碰屏幕点选“ACF 本清洁润滑之程序可与“润滑ACF SUPPLY之 SUPPLY”“SOLENOID VALAE” “ACF 铅锤滑杆”同步执行。 WINDING UP MOTOR OFF”使之反白,则WINDING MOTOT停止转动。 b.卸下ACF,并拆下导轮。 c.利用美工刀刮除导轮上残留的ACF。 d.利用无尘布沾酒精清洁导轮。 e.将导轮装回,并重新架设ACF。 f.完成ACF的架设动作后,再按一次“ACF WINDING MOTOR OFF”,使WINDING MOTOR继续运转。 12.润滑ACF SUPPLY之LCD TABLE X/Y轴导螺杆： 用品：Grease油、无尘布、牙刷。 a.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,于触碰屏幕点选“ACF SUPPLY”“JOG MOVEMENT”“LCD TABLE X AXIS”之CCW 及“LCD TABLE Y AXIS”之CW,使TABLE移动到右后方 的位置。 b.利用牙刷及无尘布,清洁导螺杆上面的污油。 c.利用牙刷沾少许的Grease油,于X/Y轴导螺杆上均匀涂抹。 d.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,于触碰屏幕点选“ACF SUPPLY”“JOG MOVEMENT”“LCD TABLE X AXIS”之 CW及“LCD TABLE Y AXIS”之CCW,使TABLE移动到左前方的位置。 e.重复b及c的步骤,完成另外一侧的清洁及上 油。 f.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,按注意：若发现异常,请通知机台之负责 “ORIGIN”(‘17’方形),进行原点复归,并 工程师处理。 注意动作有无异常。

13.润滑ACF SUPPLY之LCD TABLE X轴滑轨： 用品：液状油、无尘布。 a.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,于触碰本清洁润滑之程序可与“润滑ACF SUPPLY之屏幕点选“ACF SUPPLY”“JOG MOVEMENT”“LCD TABLE LCD TABLE X/Y轴导螺杆”同步执行。 X AXIS”之 CCW,使TABLE移动到右方的位置。 b.利用无尘布完成清洁滑轨上的污油后,再用液状油均 匀涂抹于滑轨表面。 c.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,于触碰屏幕点选“ACF SUPPLY”“JOG MOVEMENT”“LCD TABLE X AXIS”之 CW,使TABLE移动到左方的位置。 d.重复b的动作,完成另一侧的清洁及上油。 e.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,按“ORIGIN”(‘17’方 形),进行原点复归,同时注意动作有无异常。 f.利用无尘布清洁两侧多余的油。 14.润滑ACF SUPPLY之LCD TABLE Y轴滑轨： 用品：Grease油、无尘布、牙刷。 a.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,于触碰本清洁润滑之程序可与“润滑ACF SUPPLY之屏幕点选“ACF SUPPLY”“JOG MOVEMENT”“LCD TABLE LCD TABLE X/Y轴导螺杆”同步执行。 Y AXIS”之 CW,使TABLE移动到后方的位置。 b.利用无尘布完成清洁滑轨上的污油后,再用牙刷沾少 许的Grease油均匀涂抹于滑轨表面。 c.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,于触碰屏幕点选”ACF SUPPLY”“JOG MOVEMENT”“LCD TABLE Y AXIS”之 CCW,使TABLE移动到前方的位置。 d.重复b的动作,完成另一侧的清洁及上油。 e.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,按注意：若发现异常,请通知机台之负责 “ORIGIN”(‘17’方 工程师处理。 形),进行原点复归,同时注意动作有无异常。 f.利用无尘布清洁两侧多余的油。 15.润滑ACF SUPPLY之ACF卷取轴卷取宽度调整用品：Grease油、无尘布、内六角扳手。 盖： a.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,于触碰屏幕点选“ACF SUPPLY”“SOLENOID VALAE” “ACF WINDING UP MOTOR OFF”使之反白,则WINDING MOTOT停止转动。

b.利用内六角扳手旋松并取下ACF卷取轴卷取宽度调整 盖。 c.利用无尘布及Grease油,完成ACF卷取轴卷取 宽度 调整盖内轴表面之清洁及上油。 d.再按一次“ACF WINDING MOTOR OFF”,使WINDING MOTOR 继续动作。 16.清洁ACF SUPPLY之LCD TABLE真空滤芯： 用品：吸尘器。 a.拆下真空滤芯。 b.利用吸尘器清洁真空滤芯。 d.装回真空滤芯。 17.润滑LSI SUPPLY之ROBOT上下滑轨： 用品：液状油、无尘布、牙刷。 a.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,于触碰屏幕点选“LSI SUPPLY”“SOLENOID VALAE”“ROBOT CHUCK UP & DOWN”,使ROBOT CHUCK上下移动。 b.利用无尘布完成清洁滑轨上的污油后,再用液状油均 匀涂抹于滑轨表面。 c.重复于触碰屏幕点选”ROBOT CHUCK UP & DOWN”,使ROBOT CHUCK上下移动,检查此机构之动作及升降速 度有无 异常。 18.润滑LSI SUPPLY之ROBOT X/Y轴滑轨： 用品：Grease油、无尘布、牙刷。 a.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,按“ORIGIN”(‘17’方形) ，使ROBOT回归原点。 b.将ROBOT X/Y轴之传动轴保护盖板卸下。 c.利用无尘布清洁滑轨上的污油后,再用牙刷沾X/Y轴滑轨。 附 Grease油均匀涂抹于滑轨表面。 d.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,于触碰移动前,注意人员及设备安全。 屏幕点选“LSI SUPPLY”“POINT MOVEMENT”“ROBOT LSI SUPPLY POS.”,使ROBOT CHUCK移动。 e.将未清洁及润滑之滑轨部份,利用无尘布清洁滑轨上 X/Y轴滑轨。 的污油后,再用牙刷沾附 Grease油均匀涂抹 于滑轨 表面。

f.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,于触碰屏幕点选“LSI 1.移动前,注意人员及设备安全。 SUPPLY”“POINT MOVEMENT”重复点选2.移动 ROBOT CHUCK至少10次。 “ROBOT LSI 3.ROBOT CHUCK须位于TOP POSITION。 SUPPLY POS.” 及“ROBOT LSI PICK-UP 4.ROBOT CHUCK移动时,检查此机构之动作 POS.”,使ROBOT 有无异常或异音出现。 CHUCK移动。 g.利用无尘布清洁两侧多余的油。 X/Y轴滑轨 h.将ROBOT X/Y轴之传动轴保护盖板装回。 i.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,按 “ORIGIN”(‘17’方形) ,使ROBOT回归原点。 19.检视LSI SUPPLY之ROBOT X/Y传动皮带(龟裂 现象)： a.本程序可配合项次18“润滑LSI SUPPLY之注意：若发现异常,请通知机台之负责工程ROBOT X/Y 师处理。 轴滑轨”一并进行。 20.润滑LSI SUPPLY之LSI TABLE X/Y轴导螺杆： 用品：Grease油、无尘布、牙刷。 a.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,于触碰屏幕点选”LSI SUPPLY”“JOG MOVEMENT”“LSI TABLE X AXIS”之 CCW及“LSI TABLE Y AXIS”之CCW，使TABLE移动到 右后方的位置。 b.利用牙刷及无尘布,清洁导螺杆上面的污油。 c.利用牙刷沾少许的Grease油,于X/Y轴导螺杆上均 匀涂抹。 d.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,于触碰屏幕点选“LSI SUPPLY”“JOG MOVEMENT”“LSI TABLE X AXIS”之CW 及“LSI TABLE Y AXIS”之CW,使TABLE移动到左前方 的位置。 e.重复b及c的步骤,完成另外一侧的清洁及上 油。 f.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,按注意：若发现异常,请通知机台之负责工程“ORIGIN”(‘17’方 师处理。 形),进行原点复归,并注意动作有无异常。 21.润滑LSI SUPPLY之LSI TABLE X轴滑轨： 用品：液状油、无尘布。 SUPPLY之a.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式，于触碰本清洁润滑之程序可与“润滑LSI 屏幕点选“LSI LSI TABLE X/Y轴导螺杆”同步执行

SUPPLY”“JOG MOVEMENT”“LSI TABLE X AXIS”之CCW ,使TABLE移动到右方的位置。 b.利用无尘布完成清洁滑轨上的污油后,再用液 状油均 匀涂抹于滑轨表面。 c.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,于触碰屏幕点选“LSI SUPPLY”“JOG MOVEMENT”“LSI TABLE X AXIS”之CW ,使TABLE移动到左方的位置。 d.重复b的动作,完成另一侧的清洁及上油。 e.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,按注意：若发现异常,请通知机台之负责工 “ORIGIN”(‘17’方 程师处理。 形),进行原点复归,同时注意动作有无异常。 f.利用无尘布清洁两侧多余的油。 22.润滑LSI SUPPLY之LSI TABLE Y轴滑轨： 用品：Grease油、无尘布、牙刷。 a.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,于触碰屏幕点选“LSI 本清洁润滑之程序可与“润滑LSI SUPPLY之 SUPPLY”“JOG MOVEMENT”“LSI TABLE LSI TABLE X/Y轴导螺杆”同步执行。 Y AXIS”之 CCW,使TABLE移动到后方的位置。 b.利用无尘布完成清洁滑轨上的污油后,再用牙刷沾少 许的Grease油均匀涂抹于滑轨表面。 c.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,于触碰屏幕点选”ACF SUPPLY”“JOG MOVEMENT”“LSI TABLE Y AXIS”之CW ,使TABLE移动到前方的位置。 d.重复b的动作,完成另一侧的清洁及上油。 e.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,按注意：若发现异常,请通知机台之负责工程“ORIGIN”(‘17’方 师处理。 形),进行原点复归,同时注意动作有无异常。 f.利用无尘布清洁两侧多余的油。 用品：Grease油、无尘布、牙刷。 23.润滑LSI SUPPLY之LCD TABLE X/Y轴导螺杆： a.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式，于触碰屏幕点选“LSI SUPPLY”“JOG MOVEMENT”“LCD TABLE X AXIS”之CCW 及“LCD TABLE Y AXIS”之CW,使TABLE移动到右后方 的位置。 b.利用牙刷及无尘布,清洁导螺杆上面的污油。 c.利用牙刷沾少许的Grease油,于X/Y轴导螺杆 上均

匀涂抹。 d.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,于触碰屏幕点选“LSI SUPPLY”“JOG MOVEMENT”“LCD TABLE X AXIS”之CW 及“LCD TABLE Y AXIS”之CCW,使TABLE移动到左前 方的位置。 e.重复b及c的步骤,完成另外一侧的清洁及上 油。 f.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,按注意：若发现异常,请通知机台之负责 “ORIGIN”(‘17’方 工程师处理。 形),进行原点复归,并注意动作有无异常。 24.润滑LSI SUPPLY之LCD TABLE X轴滑轨： 用品：液状油、无尘布。 a.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,于触碰本清洁润滑之程序可与“润滑LSI SUPPLY之屏幕点选”LSI SUPPLY”“JOG MOVEMENT”“LCD TABLE LCD TABLE X/Y轴导螺杆”同步执行。 X AXIS”之CCW ,使TABLE移动到右方的位置。 b.利用无尘布完成清洁滑轨上的污油后,再用液状油均 匀涂抹于滑轨表面。 c.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,于触碰屏幕点选“LSI SUPPLY”“JOG MOVEMENT”“LCD TABLE X AXIS”之CW ,使TABLE移动到左方的位置。 d.重复b的动作,完成另一侧的清洁及上油。 e.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,按注意：若发现异常,请通知机台之负责 “ORIGIN”(‘17’方 工程师处理。 形),进行原点复归,同时注意动作有无异常。 f.利用无尘布清洁两侧多余的油。 25.润滑LSI SUPPLY之LCD TABLE Y轴滑杆： 用品：Grease油、无尘布、牙刷。 a.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,于触碰本清洁润滑之程序可与“润滑LSI SUPPLY之屏幕点选“LSI SUPPLY”“JOG MOVEMENT”“LCD TABLE LCD TABLE X/Y轴导螺杆”同步执行 Y AXIS”之 CW,使TABLE移动到后方的位置。 b.利用无尘布完成清洁滑轨上的污油后，再用牙刷沾少 许的Grease油均匀涂抹于滑轨表面。 c.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,于触碰屏幕点选”LSI SUPPLY”“JOG MOVEMENT”“LCD TABLE Y AXIS”之CCW ,使TABLE移动到前方的位置。

d.重复b的动作,完成另一侧的清洁及上油。 e.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,按注意：若发现异常,请通知机台之负责 “ORIGIN”(‘17’方 工程师处理。 形),进行原点复归,同时注意动作有无异常。 f.利用无尘布清洁两侧多余的油。 26.LSI SUPPLY CCD Camera Z轴螺杆及滑轨清洁用品：Grease油、无尘布、牙刷。 及润滑 a.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,于触碰屏幕点选“LSI 勿超出上极限。 SUPPLY”“JOG MOVEMENT”“CAMERA Z AXIS”之 CW,使CAMERA上升。 e.利用无尘布完成清洁滑轨及螺杆上的污油后,再用牙 刷沾少许的Grease油均匀涂抹于滑轨及螺杆表面。 c.再触碰屏幕点选“JOG MOVEMENT”之勿超出下极限。 “CAMERA Z AXIS”之 CCW,使CAMERA下降。 d.重复b的动作,完成另一侧的清洁及上油。 e.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,按注意：若发现异常,请通知机台之负责 “ORIGIN”(‘17’方 工程师处理。 形),进行原点复归,同时注意动作有无异常。 f.利用无尘布清洁两侧多余的油。 27.清洁LSI SUPPLY之LCD TABLE真空滤芯： 用品：吸尘器。 a.拆下真空滤芯。 b.利用吸尘器清洁真空滤芯。 c.装回真空滤芯。 注意：装回滤芯时必须注意方向。 28.检视缓冲材上,下滑轨: a.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,于触碰屏幕点选 “ACTUAL BOND”“SOLENOID 注意：若发现异常,请通知机台之负责 VALAE”“ACTUAL BOND 工程师处理。 TAPE UP & DOWN”,使ACTUAL BOND TAPE做升降动作， 同时注意动作有无异常。 29.检查ACTURAL BOND LCD TABLE Y轴前后Stopper 之螺丝是否固定： a.徒手轻轻的转动螺丝,并检查是否固定旋紧。 30.润滑ACTURAL BOND 之LCD TABLE X轴导螺杆： 用品：Grease油、无尘布、牙刷。 a.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,于触碰屏幕点选 “ACTURAL BOND ”“JOG MOVEMENT”“LCD TABLE X AXIS”之CW,使TABLE移动到右方的位置。

b.用无尘布完成清洁滑轨上的污油后,再用牙刷沾少许 的Grease油均匀涂抹于螺杆表面。 c.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,于触碰屏幕点选 “ACTUAL BOND ”“JOG MOVEMENT”“LCD TABLE X AXIS” 之CCW,使TABLE移动到左方的位置。 d.重复b的动作,完成另一侧的清洁及上油。 e.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,按注意：若发现异常,请通知机台之负责 “ORIGIN”(’17’方 工程师处理。 形),进行原点复归,同时注意动作有无异常。 f.利用无尘布清洁两侧多余的油。 31.润滑ACTURAL BOND 之LCD TABLE X轴滑轨： 用品：Grease油、无尘布、牙刷。 a.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,于触碰屏幕点选 “ACTURAL BOND ”“JOG MOVEMENT”“LCD TABLE X AXIS” 之CW,使TABLE移动到右方的位置。 b.用无尘布完成清洁滑轨上的污油后,再用牙刷沾少许 的Grease油均匀涂抹于滑轨表面。 c.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,于触碰屏幕点选 “ACTUAL BOND ”“JOG MOVEMENT”“LCD TABLE X AXIS” 之CCW,使TABLE移动到左方的位置。 d.重复b的动作，完成另一侧的清洁及上油。 e.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,按注意：若发现异常,请通知机台之负责 “ORIGIN”(‘17’方 工程师处理。 形),进行原点复归,同时注意动作有无异常。 f.利用无尘布清洁两侧多余的油。 32.润滑ACTURAL BOND 之Y/Z轴滑轨： 用品：Grease油、无尘布、牙刷。 a.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,于触碰屏幕点选 “ACTURAL BOND ”“JOG MOVEMENT”“LCD TABLE UP & DOWN”,使TABLE移动到右方的位置。 b.用无尘布完成清洁滑轨上的污轴后,再用液状油 均匀涂抹于滑轨表面。 c.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,于触碰屏幕点选 “ACTUAL BOND ”“JOG MOVEMENT”“LCD TABLE X AXIS” 之CCW,使TABLE移动到左方的位置。

d.重复b的动作,完成另一侧的清洁及上油。 e.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,按 “ORIGIN”(‘17’方 形),进行原点复归,同时注意动作有无异常。 f.利用无尘布清洁两侧多余的油。 33.清洁ACTURAL BOND 之LCD TABLE 空气滤芯： 用品：吸尘器。 a.拆下真空滤芯。 b.利用吸尘器清洁真空滤芯。 c.装回真空滤芯。 注意：装回滤芯时必须注意方向。 34.检视ACTURAL BOND之Head、IC及B/U三者之用品：半成品一片。 间的 相对位置： a.机台进入“SET”(‘10’方形)模式，于触碰 屏幕点选 HEAD “”F7 ”使ACF SUPPLY UNIT、ACF SUPPLY UNIT、 ACF SUPPLY UNIT均呈现反白现象。 b.机台进入“SINGLE”(‘8’方形)模式,以单 0~0.2mm 动方式将半成 IC 品送至本压着之LCD TABLE上 BACK UP c.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,于触碰 PANEL 屏幕点选 “ACTUAL BOND”“POINT MOVEMENT”“ACTUAL BOND POSITION 1”使 “ACTUAL BOND”之Head、IC及BACK UP三者TABLE移动到第一个本压的位置。 d.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,于触碰之间的相对位置 屏幕点 选“ACTUAL BOND”“SOLENOID VALAE”“LCD TABLE BACK & FORTH”使TABLE前进“LCD TABLE UP & DOWN” 使TABLE下降,使B/U移动到GUIDE下方。 e.检视ACTUAL BOND之Head、IC及B/U三者之注意：若发现异常,请通知机台之负责 间的 工程师处理。 相对位置,相对位置如右图。 35.润滑玻璃传送(Panel Transfer)之X轴导螺用品：液状油、无尘布。 杆： a.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,于触碰屏幕点选“LCD 勿超出极限。 TRANSPORT”“JOG MOVEMENT”“LCD TRANSPORT X AXIS”,使LCD TRANSPORT移动到右方的位置。 b.用无尘布完成清洁导螺杆上的污油后,再用液 状油 均匀涂抹于滑轨表面。

c.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,于触碰屏幕点选“LCD 勿超出极限。 TRANSPORT”“JOG MOVEMENT”“LCD TRANSPORT X AXIS”,使LCD TRANSPORT移动到左方的位置。 d.重复b的动作，完成另一侧的清洁及上油。 e.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,按注意：若发现异常,请通知机台之负责 “ORIGIN”(‘17’方 工程师处理。 形)，进行原点复归，同时注意动作有无异常。 f.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,于触碰屏幕点选“LCD 1.注意人员安全。 TRANSPORT”“POINT MOVEMENT”“LCD 2.检视导螺杆上之润滑油是否散布均匀。 TRANSPORT SUPPLY POS.”及“LCD TRANSPORT TACK-OUT POS.”, 使LCD TRANSPORT进行左右移动。 g.利用无尘布清洁两侧多余的油。 用品：液状油、无尘布。 36.润滑玻璃传送(Panel Transfer)之X轴滑轨： a.步骤同“润滑玻璃传送(Panel Transfer)之X可同时执行。 轴导螺杆” 37.清洁玻璃传送之真空滤芯 ： 用品：吸尘器。 a.拆下真空滤芯。 b.利用吸尘器清洁真空滤芯。 c.装回真空滤芯。 注意：装回滤芯时必须注意方向。 38.润滑Panel Ejection轴之传动导轨： 用品：液状油、无尘布。 a.将传动Cylinder之保护盖板卸下。 传动导轨呈圆柱长条状。 b.检视滑轨上,有无污染物及油污并清洁之,完清洁及上油时,注意人员手部安全。 成清洁 后,再用液状油均匀涂抹于滑轨表面。 c.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,于触碰屏幕点选“LCD EJECTION”“SOLENOID VALVE”“LCD EJECTION BACK & FORTH”,使LCD EJECTION TRANSPORT进行前进移动。 d.重复b的动作，完成另一侧的清洁及上油。 清洁及上油时，注意人员手部安全。 e.于触碰屏幕点选“LCD EJECTION BACK & FORTH”,使LCD EJECTION TRANSPORT前后移动,检视动作有无 异常, 并利用无尘布清洁两侧多余的油。 f.将传动Cylinder之保护盖板装回 39.润滑Panel Ejection轴之滑轨： 用品：Grease油、无尘布、牙刷。 a.将传动Cylinder之保护盖板卸下。 b.检视滑轨上,有无污染物及油污并清洁之,完清洁及上油时,注意人员手部安全。

成清洁 后,再用Grease油均匀涂抹于滑轨表面。 c.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,于触碰屏幕点选“LCD EJECTION”“SOLENOID VALVE”“LCD EJECTION BACK & FORTH”,使LCD EJECTION TRANSPORT进行前进移动。 d.重复b的动作,完成另一侧的清洁及上油。 清洁及上油时,注意人员手部安全。 e.于触碰屏幕点选“LCD EJECTION BACK & FORTH”,使LCD EJECTION TRANSPORT前后移动,检视动作有无 异常, 并利用无尘布清洁两侧多余的油。 f.将传动Cylinder之保护盖板装回。 40.PANEL Eject传动轴内部清洁及润滑 1.本程序由当站工程师执行。 2.保养周期:六个月。 3.用品：Grease油、无尘布、清洁润滑剂。 a.将传动Cylinder之保护盖板卸下。 b.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,于触碰屏幕点选”LCD EJECTION”“SOLENOID VALVE”“LCD EJECTION BACK & FORTH”,使LCD EJECTION TRANSPORT进行前进移动。 c.将LCD吸附结构体拆下。 4mm内六角螺丝(4只)。 d.将传动轴与滑轨之连动结构体拆下。 3mm内六角螺丝(4只)。 e.将空压源截断并将机台内之剩余气压泄出。 检视气压表之指数低于1kg即可。 f.将气源传输盖(与传动轴连接)拆下。 1. 3mm内六角螺丝(3只)。 2.拆除气源传输盖时,须同时握住传动轴,以避免掉落撞击造成传动轴变形。 g.将传动轴内部之传动活塞与外部之传动环分1.拆除时,须注意不得撞击传动轴,以避免别拆下 传动轴变形。 2.各结构体拆下后均须放置于无尘布上。 用品：无尘布、清洁润滑剂 h.清洁传动轴内部、传动活塞、传动环之污物。 i.以手指沾附Grease油,将传动活塞表面涂抹1.检视传动活塞表面及O-Ring有无磨损 Grease油。 2.涂抹Grease油前,须确实清洁手指,不得 有颗粒物 j.以手指沾附Grease油,传动环内部涂抹涂抹Grease油前,须确实清洁手指,不得有Grease油。 颗粒物。 k.清洁连接传动轴两端之气源轴,并涂抹Grease1.只用无尘布清洁。 油于 2.其中一只位于气源传输盖。 O-Ring。 l.将传动活塞与外部之传动环分别装回传动轴。 注意传动活塞与传动环之相关位置。 m.同时将组装完成之传动轴与气源传输盖装回。

n.将传动轴与滑轨之连动结构体装回。 恢复空压时,须缓慢供给,避免高压冲击 o.将空压源恢复。 设备。 p.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,于触碰确认LCD EJECTION TRANSPORT动作正常后,屏幕点选“LCD 再将气源传输盖及传动轴与滑轨之连动结 EJECTION”“SOLENOID VALVE”“LCD 构体之固定螺丝逐一旋紧,并再次确认LCD EJECTION BACK & EJECTION TRANSPORT动作是否正常。 FORTH”,使LCD EJECTION TRANSPORT进行前后移动。 重复项次”步骤p.项”之动作 q.将LCD吸附结构体装回。 r.将传动Cylinder之保护盖板装回。 s.清理使用后之无尘布及工作现场,避免油污染 产品。 41.检查机台下方线路控制区之线路松脱是否松 脱： a.按照关机程序来关闭(TURN OFF)机台。 b.打开机台下方四周的铁盖。 c.徒手检查配电盘上的接线是否牢固。 若发现松脱,先确定松脱的部份后, 再将松脱的线路安置定位。 d.按照开机程序来开启（TURN ON）机台。 42.测量ACF贴付头温度曲线(150度)： 用品：温度记录器。 a.将机台外部控制ACF热压头温度开关步骤请参阅“COG设备调整校正操作指导“H1”(’33’方形) 书”之项次五、六(项目: ACF贴付头之温 调整至150度。 度) 。 用品：温度记录器、素玻璃（1.1mm）、 43.测量本压着头温度曲线(290/100)： IC(0.625mm厚)。 a.分别调整本压头温度至290度,B/U温度至100步骤请参阅“COG设备调整校正操作指导度。 书”之项次三、四(项目:本压着ACTUAL BOND HEAD及支撑平台之温度) 。 44.测试LSI Table与B/U平行度： 用品：素玻璃（1.1mm）、感压纸。 a.机台进入“MANU”(‘9’方形)模式,于触碰屏幕点选”LSI SUPPLY”“POINT MOVEMENT”“LCD ALIGNMENT POS.1”, 使LCD TABLE移动至MARK确认位置。 b.同一画面中，点选“SOLENOID VALVE”“LSI TABLE REVESER”“POINT MOVEMENT”“LSI ALIGNMENT POS.1”,使LSI TABLE移动至MARK确认位置。

c.同一画面中,点选“JOG MOVEMENT”“LCD LCD TABLE BACK UP与LSI TABLE之侧视图 TABLE Y AXIS”,使LCD TABLE之BACK UP移动至LSI LSI TABLE TABLE正 感压纸 下方位置,如右图。 素玻璃 d.将素玻璃（1.1mm）、感压纸放置于LSI TABLE 及BACK UP BACK UP LCD TABLE 之间,放置方法如右图。 e.同一画面中,点选“SOLENOID LSI TABLE压力调整于0.3MPa。 VALVE”“LSI TABLE UP & DOWN”使LSI TABLE下压，约5秒钟再按一检视感压纸之红色显示是否均匀,若不均匀次“LSI TABLE UP & DOWN”使LSI TABLE上时,请通知当站负责工程师处理。 升。 f.将素玻璃及感压纸取出。 g.将LSI TABLE压力调整于0.15~0.2mpa。 h.同一画面中,点选“POINT MOVEMENT”“LSI TABLE RECEIVE POS.”“SOLENOID VALVE”“LSI TABLE REVESER”,使LSI TABLE移动回原始位置。 i.同一画面中,点选“POINT MOVEMENT”“LCD TABLE RECEIVE POS.”,使LCD TABLE移动回原始位置。 j.用无尘布沾酒精擦拭LSI TABLE及LCD TABLE之BACK UP。 五.使用表单(Form) 1. 2. 3.

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