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专利名称：覆盖量测方法专利类型：发明专利
发明人：吴锴,谢鸿志,陈开雄,柯志明,陈彦良申请号：CN201711066881.7申请日：20171020公开号：CN108226760A公开日：20180629
摘要：一种覆盖量测方法，包括：利用多彩光束照亮覆盖目标；搜集与由多彩光束通过覆盖目标而产生的衍射光谱有关的强度信息，其中衍射光谱将多彩光束分离为多个衍射光束，衍射光束的每一者分别对应至多彩光束的一波长；以及根据与衍射光谱有关的强度信息产生覆盖信息，覆盖信息包括因不对称性而产生的覆盖误差。
申请人：积体电路制造股份有限公司
地址：中国新竹市
国籍：TW
代理机构：隆天知识产权代理有限公司
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